Журнал НИТ №7 (Октябрь 2016)

 

Embed or link this publication

Description

ЗАО НПФ "УРАН"

Popular Pages


p. 1

Дорогие Друзья! Мы рады представить вашему вниманию новый номер (№7) журнала «Новейшие Измерительные Технологии», в котором вы найдете много полезной и интересной информации. Мы всегда рады вашим вопросам, комментариям и отзывам, которые Вы можете прислать на электронный адрес NIT@uran-spb.ru.гu В этом номере вы найдете: Программное обеспечение координатно-измерительных машин WinWerth ………..…………....2 Измерение геометрических параметров микродеталей на приборах серии NanoFocus ……….…6 Высокоточные длиномеры ULM E ф. Mahr……………………………………..…………….……..12 Применение цеховых профильных проекторов ф. Starrett ……….…………….…………………15 Враги прецизионных измерений...……………………….…………….……………………………...18 Старые русские меры длины ……………………..…………………………………………..………..26 Приглашение на осенний форум «Уран-Экспо» ……………………….………………………..….27 Приглашение на международную специализированную выставку «Оборудование и технологии обработки конструкционных материалов - Технофорум - 2016»……………………..…………....28 ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 1 из 28

[close]

p. 2

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ WINWERTH WinWerth – мощное, удобное программное обеспечение (ПО) для обработки и анализа результатов измерения, работает под операционной системой Windows 7. Данное ПО едино для всех координатно-измерительных машин Werth. WinWerth обеспечивает возможность математической оценки координат (размеров) и взаимного расположения геометрических элементов (точек, прямых, окружностей и других элементов). Для снижения погрешности измерения геометрических элементов (прямые, окружности и т.п.) предлагается использование фильтров обработки изображения (фильтр контура, фильтр пыли и др.). ПО обеспечивает возможность написания программ (последовательностей измерения) как в онлайн режиме, так и в офлайн, не используя КИМ. ПО позволяет контролировать допуск формы элементов (отклонение от плоскостности, круглости и др.), а также допуски взаимного расположения (соосность, параллельность, перпендикулярность и др.), зависимые допуска для двух и более элементов. Программное обеспечение постоянно поддерживается производителем в актуальном состоянии: исправляются ранее выявленные ошибки, улучшаются существующие алгоритмы работы, добавляются новые возможности, опции и инструменты для анализа. В данной статье можно найти описание новинок последних версий WinWerth (8.35 и 8.40). Расширены возможности настройки пути сканирования и распределения точек, что сделало измерение всех геометрических элементов контактным и оптическим датчиками более удобными! Для измерения большинства элементов более нет необходимости в ручном позиционировании датчиков. Для лучшей проверки и оптимизации измерительной программы теперь пути перемещения в окне 3D-графики отображаются по-новому. Настройка отображения пути перемещения посредством настроек в меню. Можно настроить отображение элементов: стандарт – путь перемещения по центру датчика; максимальный - с измерительной сферой. Проверка (оффлайн) на возможные столкновения! Пример отображения пути следования датчика на CADмодели. Улучшена возможность редактирования распределения точек, например: - выделение, удаление и добавление отдельных точек и пути сканирования; - редактирование непосредственно в окне 3-D графика или путем численного задания параметров; - редактирование в системе координат (СК) детали или элемента (декартова, цилиндрическая, полярная); ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 2 из 28

[close]

p. 3

-посредством кнопки «предварительный просмотр» возможен офлайн анализ потенциально возможных столкновений. Распределение точек стало возможным также и при работе с поворотной и поворотнонаклонной осью, к примеру, для измерения биений, формы. Возможность задания как диапазона измерения, так и количества проходов сканирования или числа точек измерения Измерение геометрических элементов непосредственным выбором на CAD-модели, измерение минимального количества точек на элементе или ввод параметров в специальном инструменте «распределение точек» Автоматическое распределение точек измерения или пути сканирования на геометрических элементах. В зависимости от элемента можно задать путь по окружности, по образующей линии цилиндра, по спирали и т.п. Пример реального распределения точек по геометрическому элементу «цилиндр». Корректировка сферы щупа Для измерения, к примеру, зубчатых колес требуется получить контур по центру сферы щупа, а для сканирования, к примеру, по CADмодели и последующего сравнения с ней требуется получить контур по сфере щупа (с учетом ее диаметра). Для этого можно выбрать нужную стратегию среди представленных в окне сканирования в ПО WW: - без корректировки; - корректировка по CAD-модели; - стандартная корректировка. Окно настройки распределения точек по цилиндру. Гибкие возможности протокола в стиле Office формирования В протокол измерения теперь можно вывести и таблицы с числовыми значениями, и 2D- и 3D- графики, BestFit- ToleranceFit и т.п. Автоматическое задание шапки протокола посредством смены оператора (в менеджере операторов) или по баркоду. Таблица с данными, графические данные и подписи к ним возможно редактировать в любой последовательности. Автоматическая актуализация данных при повторных измерениях! ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 3 из 28

[close]

p. 4

Пример протокола измерений, созданного в WW. AutoAlign. Автоматическое распознавание детали в отсканированном растер-изображении с последующим ее выравниванием по CADмодели. Для функции AutoAlign могут быть также использованы отдельные элементы общего измерительного диапазона, что обеспечивает возможность палетных измерений. HD-Rasterscanning (патент) Функция сканирования на предварительном заданном, на всем измерительном диапазоне, либо по контуру. Сканирование происходит во время движения оптического датчика непрерывно по секторам, которые потом автоматически «склеиваются» при помощи программного обеспечении в единое изображение, что дает возможность работы со всем изображением детали в наивысшем разрешении. «Склеивание» отдельных изображений происходит по координатам, что повышает точность измерений. Опция обеспечивает снижение времени измерения, снижение погрешности, поскольку для каждого сектора измерения используется множество изображений, полученных в разных позициях оптики. Одним из наглядных примеров использования вышеуказанных функций может послужить функция MultiAutoMeasure, которая позволяет проводить измерения (оптическим датчиком) шаблонов и плоских деталей, произвольно расположенных на измерительном столе. Особенно выгодно использование данной опции, если речь идет об измерении большого количества деталей, к примеру, мелких деталей электроприборов. За счет произвольной раскладки деталей, без задания базы, либо определенного шага укладки деталей значительно упрощается процесс измерения, снижается трудоемкость и увеличивается производительность! Процесс же измерения выглядит следующим образом: детали произвольно укладываются на измерительный стол (в количестве до 999 шт.), оператор сканирует предметный стол (используя опцию HD- Rasterscanning), загружается в программное обеспечение двумерная CAD-модель (dxf), которая служит для выравнивания контролируемых деталей (опция AutoAlign). Следующим шагом оператор измеряет все необходимые параметры на одной детали. Все остальные детали будут измерены автоматически с учетом их расположения на столе. Все! Получаем протокол, загружаем следующую партию! Видео по теме можно посмотреть здесь. ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 4 из 28

[close]

p. 5

Расширенные циклов. возможности задания Циклы необходимы при измерении повторяющихся элементов и для палетных измерений, а также при тестировании пригодности измерительного процесса (статистика). Выбор базовых элементов расширен и стал лаконичнее, а также измерения в циклах стали возможны и на поворотной оси. Оптимизирован процесс калибровки датчиков. Значительно сокращено время калибровки датчиков за счет пересмотра алгоритма калибровки, к примеру при калибровке контактного датчика, можно задать один референсный щуп и откалибровать его по максимальному количеству параметров (длительная калибровка), калибровочные данные которого в последствии будут частично приняты для калибровки всех остальных щупов, тем самым время калибровки щупов сокращается до нескольких минут! Сканирование по заданному пути с датчиками (SP25, SP80, WFP и другими) функцией подстройки. Отклонения от заданного пути следования, превышающие максимальные возможности отклонения датчика, также теперь можно компенсировать дополнительной подстройкой. Датчик также может автоматически измерять незамкнутые контуры (датчик объезжает выемки, впадины и т.п.). Данная функция обеспечивает дополнительные возможности измерения деталей с грубыми допусками и повышает общую безопасность процесса измерения. Измерение незамкнутого контура. Измерения в дереве элементов, измерение отдельных размеров из общей программы. После выбора желаемых элементов в дереве элементов, WinWerth автоматически идентифицирует связанные базовые элементы, измеренные с соответствующими настройками и базой детали, тем самым создается часть программы, которая может быть отредактирована и сохранена как отдельная программа или подпрограмма. Тем самым значительно сокращено время написания измерительных программ для серийных деталей! ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 5 из 28

[close]

p. 6

ИЗМЕРЕНИЕ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОДЕТАЛЕЙ НА ПРИБОРАХ СЕРИИ NANOFOCUS Технология, на которой построены детали, которая отражает свет. Часть приборы NanoFocus, основана на отраженного света, отражаясь от поверхности конфокальной микроскопии с использованием детали, задерживается отверстием в диске. диска с множеством отверстий Таким образом, на ПЗС матрицу попадает (модернизированный диск Нипкова). Этот только та часть светового потока, которая метод позволяет за считанные секунды сфокусирована на измеряемой поверхности. вычислить параметры топографии и шероховатости поверхности с разрешением до 1 нанометра, а также измерить толщину слоя материала детали. Принцип действия датчика μsurf Конфокальный микроскоп серии μsurf производства NanoFocus состоит из светодиодного источника света, вращающегося диска с множеством отверстий, объектива с пьезодвигателем и камерой с ПЗС матрицей. Светодиодный источник света, проходя через отверстие в диске и объектив, фокусируется на поверхности исследуемой Картинка, которую можно получить при помощи традиционного микроскопа, как правило, содержит резкие и нечеткие элементы. Конфокальный микроскоп отсекает размытые фрагменты при помощи диска с отверстиями и на ПЗС матрице всегда оказывается сфокусированное изображение. Именно этим обусловлено высокое разрешение конфокального микроскопа и возможность выполнять измерения с разрешением несколько нанометров. Каждое отдельное конфокальное изображение представляет собой горизонтальный срез топографии детали. Последовательно захватывая изображения на различных фокусных расстояниях при перемещении объектива конфокального микроскопа в вертикальной плоскости, программа формирует массив изображений. Как правило, за 1 секунду регистрируется от ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 6 из 28

[close]

p. 7

200 до 400 снимков, после чего программа воссоздает точную трехмерную картину высот из массива конфокальных изображений. Преимущества По сравнению с другими приборами микроскопы серии µsurf обладают большим числом преимуществ при оценке поверхностей в микро- и нанометровом диапазонах. По сравнению с растровым электронным микроскопом (дающим оценку в двух плоскостях x,y) µsurf позволяет получить данные о поверхности в трех координатах (x,y и z). Только такое количество информации делает возможным точное трехмерное измерение геометрии детали и предоставляет подробные сведения о текстуре поверхности. При этом предварительная подготовка детали перед измерением не требуется. Во многих отраслях промышленности контактный сканирующий метод измерения является основным. Независимые исследования, проведенные Национальным институтом стандартов и технологий США (NIST) показывает, что измерения, проведенные прибором µsurf с высокой степенью (99%) коррелируются с результатами, полученными контактными методами. При этом свойства материала, такие как, например, твердость не влияют на результат измерения, поскольку технология µsurf является бесконтактной и не разрушает поверхность детали. Применение приборов серии µsurf для измерения микродеталей В точном машиностроении и приборостроении очевидна тенденция на миниатюризацию отдельных компонентов. При производстве миниатюрных электромеханических или оптических деталей соответствие размеров изготовленных деталей номинальным значениям зачастую определяет качество изделия в целом. Поскольку технологии, используемые при изготовлении микродеталей, требуют соблюдение размеров в трех измерениях, контроль параметров таких деталей обычным двухкоординатным микроскопом невозможен. Также отметим, что измерение поверхностей микродеталей с большими (резкими) перепадами контактным методами или обычным микроскопом крайне затруднительно и трудоемко. Это делает приборы NanoFocus идеальным прибором для измерения геометрических параметров и шероховатости микродеталей. Корреляция между контактным методом измерения и технологией µsurf составляет 99%. Трехмерная топограмма зубного импланта длиной 2 мм ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 7 из 28

[close]

p. 8

Датчики давления При производстве датчиков высокого давления методом травления контроль различных геометрических параметров (таких как глубина, ширина, толщина слоя) необходим для настройки и корректировки технологического процесса. За одно измерение приборы серии µsurf позволяют измерить шероховатость поверхности датчика, геометрию перемычек и параметры покрытия, нанесенного на металлической поверхности. Линзы Френеля При производстве изделий с микронной структурой, таких как линзы с дифракционной структурой, измерительный прибор должен обладать с одной стороны высокой надежностью, а с другой стороны высокой точностью измерения, даже в случае, когда отдельных элементы изделия плохо отражают свет. Приборы серии µsurf отвечают обоим требованиям, а также могут быть настроены для работы с поверхностями с различной отражающей способностью. Датчик давления с мембраной и результаты измерения. Элементы датчика давления и модулятор Структура линзы Фринеля и ее профиль в одном из сечений ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 8 из 28

[close]

p. 9

Микрогидравлика Микролинзы В микрогидравлике обычно требуется оценка поверхности элементов, отвечающих за гидродинамические свойства изделия, по всей площади. 3х-мерные профилометры серии µscan custom являются предпочтительным решением. Несмотря на чередующиеся скосы и ровные участки поверхности эти приборы надежно контролируют геометрию деталей в сечениях, а также измеряют высоту, ширину и объем каналов и перемычек. Программное обеспечение, поставляемое с прибором, позволяет выполнить анализ этих параметров за несколько щелчком мышью. Оценка профиля стенки микрогидравлического цилиндра в сечении. Перепад высот составляет 1 мкм. Микролинзы используются для коллимации, фокусировки и построения изображения. Технология изготовления микролинз обладает большим потенциалом в области миниатюризации элементной базы, сокращения затрат на производстве и повышения производительности изделий. Микрооптика делает возможным серийное изготовление высококачественных оптических систем, используемых при производстве самой различной, в том числе инновационной продукции – системах скрытого видеонаблюдения, эндоскопах, приборах навигации и многих других. Ведущая роль микрооптики основана на следующих факторах: миниатюрные размеры, функциональность и высокая гибкость технологического процесса. Производительность микролинз зависит главным образом от оптических свойств, которые определяются структурой и формой ее поверхности. Измерение линзы малых размеров сопряжено с трудностями, как при производстве, так и на этапе контроля качества их изготовления. Измерение формы и структуры поверхности линзы диаметром 100 мкм представляет собой сложную задачу. Основные параметры, которые необходимо контролировать – форма линзы, определяемая радиусом кривизны и конической постоянной ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 9 из 28

[close]

p. 10

поверхности, точность позиционирования линз на матрице, а также размеры всей матрицы линз. Приборы для контроля традиционных оптических изделий полностью не могут удовлетворить требования к обеспечению качества микрооптики. Интерферометры, спроектированные для обычной оптики, не могут обеспечить высокое разрешение отсчета при измерении линз малых размеров. Профилометры с механическим щупом не дают трехмерную информацию о структуре материала. Зачастую разрешение щупа профилометра не позволяет измерить мелкие детали. Кроме этого, при использовании контактных методов всегда есть риск повредить деталь в процессе измерения. При помощи трехмерного 3D микроскопа компании NanoFocus можно быстро и точно измерить неразрушающим методом массив микролинз на различных стадиях производства. Программное обеспечение NanoFocus позволяет измерять линзы, расположенные на подложке с высокой плотностью, что в свою очередь делает возможным определение и измерение дефектов отдельно взятой линзы. Решающую роль в успешном выполнении этой задачи играют функции автоматической фокусировки и функция сшивания. Благодаря автофокусу система µsurf не требует настройки фокусировки или ручной регулировки фокуса для измерения отдельных микролинз. Прибор перемещается в начальное положение и начинает измерение после автоматического поиска плоскости наилучшего изображения без вмешательства оператора. Функция сшивания обеспечивает объединение соседних точек, измеренных в Y [µm] различных положениях объектива, в единую топограмму поверхности. R78 2 1 0 -1 -2 -3 -4 -20 0 20 40 60 80 100 120 140 160 x [µm] Измерение радиуса кривизны массива линз (сверху) и одиночной линзы. ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 10 из 28

[close]

p. 11

Изделия микроэлектроники – платы и процессоры Контроль твердости материала Во время монтажа чипов на гигагерцовых модулях возникает необходимость в течение минуты точечно наносить на подложку клей. Решающее значение имеет количество подаваемого клея. Бесконтактные профилометры µscan позволяют с высочайшей точностью измерить размеры точки, после чего специализированное программное обеспечение вычисляет объем нанесенного клея. Испытания материала на прочность позволяют исследовать жесткость материала, а также определить свойства материала покрытия. Отпечатки, получаемые в результате таких испытаний, можно исследовать и измерить только при помощи измерительной системы с высоким разрешением отсчета – такой, которой обладает технология µsurf. Программное обеспечение «µsoft control» и «µsoft analysis» позволяет выполнить анализ всех необходимых параметров и сохранить результаты в измерительный протокол. Подложка чипа и оценка ее профиля в сечении Топография борозды, оставленной иглой в покрытии с оценка глубины впадины. В следующих номерах нашего журнала мы продолжим обзор интересных примеров применения приборов NanoFocus для контроля геометрии различных высокотехнологичных деталей. ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 11 из 28

[close]

p. 12

ВЫСОКОТОЧНЫЕ ДЛИНОМЕРЫ ULM E ф. MAHR Во главе линейно-угловых измерений, в лабораториях практически всех отраслей промышленности незаменимыми приборами были и есть универсальные длиномеры. Наличие этих приборов в каждой измерительной лаборатории диктуется техническим прогрессом, задающим всё большие требования по точности к выпускаемой продукции. За счет ряда преимуществ и технически грамотных решений, эти приборы способны обеспечить точность измерения MPEЕ1 = ±(0,09 + L/2000) мкм. Что в свою очередь делает эти приборы незаменимыми при поверке высокоточных калибров. Помимо калибров, длиномеры так же позволяют осуществлять поверку ручного инструмента: - гладкие калибр-пробки и калибр-кольца - установочные кольца - калибры-скобы - сферические калибры - концевые меры длины - резьбовые калибры - конусные резьбовые/гладкие калибры - зубчатые колеса - индикаторы с круговой шкалой - микрометры2-х точечные нутромеры ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 12 из 28

[close]

p. 13

Удобно то, что есть возможность выбора длиномера непосредственно под свои измерительные задачи. В зависимости от диапазона измерений приборы могут выпускаться различных типоразмеров, от 300 до 1500 мм и различных точностей. Длиномеры серии ULM E выпускаются в трёх модификациях:  ULM E-L – это длиномеры с абсолютным измерительным диапазоном до 1115 мм (относительный до 1640 мм). Возможность комбинации двух диапазонов измерения этого длиномера обеспечивает его оптимальное использование, как для точных калибров (погрешность ±(0,1 + L/2000), так и для ручного инструмента (погрешность ±(0,6 + L/1000), где не требуются такие высокие точности. Этот прибор наиболее универсален для использования в измерительной лаборатории.  ULM E – это самые востребованные и относительно не дорогие длиномеры из выпускаемой серии. (относительный до 1640 мм). Измерительный элемент – высокоточный лазерный интерферометр. Погрешность измерения на всём диапазоне MPEЕ1 = ±(0,1 + L/2000) мкм. Для этих длиномеров не требуются калибровочные эталоны и благодаря большому абсолютному диапазону измерений (погрешность ±(0,1 + L/2000) мкм на всем диапазоне) большинство задач решаются быстро и просто.  ULM E-S – это длиномеры с двумя измерительными шкалами. Высокоточная шкала на измерительной пиноли и менее точная шкала в основании гранита. Погрешность измерений высокоточной шкалой составляет MPEЕ1 = ±(0,09 + L/2000) мкм. Погрешность измерений шкалой в гранитном основании составляет MPEЕ1 = ±(0,6 + L/1000) мкм. Погрешность измерения MPEЕ1 = ±(0,09 + L/2000) мкм. Высокоточная измерительная шкала расположена в измерительной бабке Аббе и обеспечивает измерения на абсолютном диапазоне до 100 мм и на относительном до 1640 мм! Основные преимущества данных длиномеров:  Воздушные подшипники: - удобное перемещение и подстройка к различным измерительным задачам; - отсутствие трения направляющих – долговечность использования прибора (не менее 20 лет!) - неприхотливость в обслуживании: направляющие не требуют смазки и особых климатических условий.  Гранитное основание: - минимальное влияние температуры на деформации основания; - гашение микровибраций за счет большой массы; - исключен прогиб и любые искривления основания; - не подвержено коррозии! ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 13 из 28

[close]

p. 14

 Принцип Аббе: - только с принципом Аббе можно достичь высоких точностей измерения 0,09+L/2000 мкм; - нет дополнительного математического пересчета, в отличие от приборов, где шкала находится в основании. - все необходимые функции выведены на панель, что упрощает процесс измерения и уменьшает необходимость постоянного обращения ПК Примеры применения:  Моторизованный измерительный стол: - встроенная шкала разрешением 0,1 мкм; - моторизованное перемещение в заданную точку (по высоте); - максимальный вес детали до 25 кг; - отдельно расположенный от основания стол (исключены прогиб и стирание основания) - автоматизация измерений (установка нужной высоты при измерениях резьбовых колец и др.) Измерение резьбового кольца и резьбового конического кольца Используя индуктивный щуп с Т-образными наконечниками, можно измерять резьбовые кольца от 2,6 мм. Гладкие кольца измеряются от 0,5 мм щупом, с шариком 0,3 мм!  Измерительное усилие: - метрологически правильно реализованное измерительное усилие (система грузиков на стальном тросике); - линейно-распределенная нагрузка; - постоянное, заданное грузиками, усилие на всем диапазоне измерения.  Панель управления: - вызов протокола, автоматизированное позиционирование, функция точного выравнивания, обнуление осей, аварийный останов системы, и др. Измерение резьбовой пробки Резьбовые пробки измеряются методом «трех проволочек» с помощью специального набора, состоящего из 18 пар проволочек. Измерение КМД до 1640 мм ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 14 из 28

[close]

p. 15

ПРИМЕНЕНИЕ ЦЕХОВЫХ ПРОФИЛЬНЫХ ПРОЕКТОРОВ ф. STARRETT Измерительные профильные проекторы уже давно заняли своё незаменимое место на производственных участках различных отраслей промышленности. благодаря использованию проходящего или отраженного света. По конструкции проекторы делятся на горизонтальные и вертикальные. Главные преимущества проекторов:  быстрый и точный контроль линейно угловых измерений (3+L/33) мм;  возможность измерений в цеховых условиях (защита от СОЖ, температур, коррозии, вибраций);  Шкалы Heidenhain с разрешением 1 мкм;  Встроенный кромкоискатель и датчик поворота экрана;  Объективы от 5 до 100 крат и различные аксессуары для установки измерительных деталей;  Нагрузка на стол от 10 до 150 кг;  Диаметр экрана от 300 до 1000 мм. По принципу измерения и вычисления проекторы очень схожи с измерительными видеосистемами, о которых мы рассказывали в прошлом номере журнала. Но в отличие от видеосистем, где на экране видно полноценное изображение детали, тут измерение производится на профиле (теневой контур), который проецируется на экран Вертикальная проекция Горизонтальная проекция Вертикальные проекторы позволяют осуществлять быстрый и удобный контроль плоских деталей (штампов, плат, шаблонов и др.). Зачастую грузоподъемность столов достигает 30 кг. Горизонтальные проекторы позволяют измерять детали массой в 150 кг и благодаря различным крепежным аксессуарам выполнять самые различные задачи. Центра, наклонные центра, тиски, поворотные тиски, вертикальные держатели, призмы и др. ЗАО НПФ «Уран» http://www.uran-spb.ru Стр. 15 из 28

[close]

Comments

no comments yet